Semiconductors and semimetals Vol. 63, Chemical mechanical polishing in silicon processing
- Författare
- (Volume editors Shin Hwa Li, Robert O. Miller.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Academic Press | Cop. 2000 | USA, New York | xv, 307 sidor. ill. |